隨著質譜技術的高速發展，作為一種分壓力測量儀器的四極質譜儀被用檢測物質含量和鑒定物質類別。它采用的是兩級抽氣結構，前級為機械泵，后級為分子渦輪泵。工作時，先由前級泵，將真空腔內的壓強降低幾個數量級，再由后級泵降至工作所需壓強。具有體積小、質量輕、可選示漏氣體廣等諸多優點，可以在真空泄漏檢測領域中發揮更大的作用。