工作原理：

 

　　利用高能離子束照射樣品，使樣品表面受到激發，釋放出二次離子。這些二次離子主要包括樣品的原子或分子離子、分子離子碎片、原子或分子碎片等。質譜儀根據這些離子的質量進行分析，從而得到樣品的成分和結構信息。

 

　　工作方式：

 

　　1.樣品制備：

 

　　在進行分析之前，需要將樣品制備成合適的形狀和尺寸。通常，樣品需要被制成薄片或薄膜，以便于高能離子束的照射。此外，樣品表面需要經過處理，以去除表面的污染物和氧化物等。

 

　　2.高能離子束照射：

 

　　二次離子質譜儀的核心部分是高能離子束照射系統。該系統包括一個離子源，用于產生高能離子束，以及一個離子光學系統，用于將離子束聚焦到樣品表面。常用的離子源包括氧離子源、銀離子源、氬離子源等。

 

　　3.二次離子激發：

 

　　高能離子束照射樣品表面，使樣品表面受到激發，釋放出二次離子。這些二次離子主要包括樣品的原子或分子離子、分子離子碎片、原子或分子碎片等。

 

　　4.質譜分析：

 

　　釋放出的二次離子通過質譜分析儀進行分析。質譜儀將離子流導入到一個電場或磁場中，根據離子的質量進行分析。通過測量離子的質量，可以獲得樣品的成分和結構信息。

 

　　5.結果解析：

 

　　通過分析質譜儀得到的離子的質量和強度信息，可以推斷出樣品的成分和結構。例如，通過測量特定離子的強度，可以確定樣品中某種元素的存在量。此外，通過比較不同質譜圖之間的差異，可以確定樣品中不同相的存在和它們的的位置和分布等。